光刻机就是个“投影仪”,把我们想要的影子投影到幕布上 。
芯片那么精细,是怎么生产出来的呢?用刀刻?用水冲?都不行,因为芯片太精细了,动辄几十nm的线条,日常没有什么材料能做成这么精细的刻刀 。所以我们就想了一个办法,用光线来刻,这也就是光刻机 。
怎么个用光刻法呢?
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我们都用过胶卷相机吧,胶片平日里是黑色的,不能见光的,一旦见光就会变白,我们也找了一种一见光就“易溶解”的特殊胶片 。当我们想要在芯片上刻一个圆圈的时候,我们就在芯片上涂上这种特殊胶片,拿一个圆圈光照上去,再经过一些列后续处理,我们在这个芯片上就做出了一个圆圈图形了对吧 。
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光刻机就是用这种胶片来刻出图形的 。剩下的问题是,我们怎么把一种我们想要的特定图形打到胶片上呢?
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我们见过老式投影仪吧,原理跟皮影戏是一样的,做一个“剪纸”,拿灯光一照,这个剪纸就映在幕布上了 。我们也想办法在光刻机里做了这样的“剪纸”,拿光源一照,这个剪纸就映在胶片上了 。
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【光刻机是什么,光刻机是怎么样的一种设备呢】以上就是光刻机的通俗理解 。就是这么简单,可是怎么让这一整个过程越来越精密,这就难了 。
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